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～ナノレベルでの表面観察を可能に～走査電子顕微鏡・電界放出型走査電子顕微鏡 （TOPCON製 SM-200、日本電子製 JSM7001FA） |
走査電子顕微鏡(SEM)は試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子線や反射電子線などの信号を検出して試料表面の形態や微細構造を観察する装置です。走査電子プローブとしてきわめて細いビームを用いているため，光学顕微鏡では観察不可能な微小な表面構造を観察することができます。また, 焦点深度が深い像が得られるため，凹凸の激しい試料表面の構造を拡大して三次元的に顕微鏡像を観察することができます。さらに，試料から同時に発生する特性Ｘ線を検出することによって試料に含まれる物質の元素分析も可能です。
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)は，電界放射型の電子銃を使用しており，通常の熱電子銃と比較して電子線を極細く絞れることや電流を多く流せるメリットがあるため，解像度が高く高倍率での観察が可能です。このため，ナノテクノロジーをはじめとする最先端分野での研究開発等の様々な目的に応用されています。
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
SEM can analyze structures as small as 1 nanometer on the surface of materials. SEM is able to image bulk samples up to many centimeters in size and has a great depth of field, and so can produce images that are good representations of the three-dimensional shape of the sample.
（上側：TOPCON製 SM-200 下側：日本電子製 JSM-7500F）